一、主要特點(diǎn)

    基于電離電荷的采樣技術(shù)

VWA.112-VC-VB系列真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí)，真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我公司了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

二、技術(shù)參數(shù)

    測(cè)量范圍：1×10-5 ~1×10-1Pa

    測(cè)量誤差：1×10-4~1×10-1 Pa中誤差＜10％

    測(cè)量分辨率：10-5Pa

    漏氣的滅弧室在測(cè)量中將發(fā)生電擊穿。

    允許環(huán)溫：0℃~55℃

    空氣濕度：<85%RH

    電源：AC220±l0%

    外型尺寸：455x330x250mm