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VT6000激光共聚焦顯微鏡

價(jià)格
電議

型號(hào)
VT6100

品牌
中圖儀器

所在地
暫無(wú)

更新時(shí)間
2023-04-25 16:35:40

瀏覽次數(shù)

    中圖儀器VT6000激光共聚焦顯微鏡是一款以共聚焦技術(shù)為原理、用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器??蓪?duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。


    激光共聚焦掃描顯微鏡,精密三維顯微測(cè)量?jī)x器.jpg


    應(yīng)用領(lǐng)域

    VT6000激光共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等精密加工行業(yè)及航空航天、科研所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


    性能特色

    1、高精度、高重復(fù)性

    1)以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,共同組成測(cè)量系統(tǒng),儀器測(cè)量精度高;

    2)儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測(cè)量重復(fù)性。

    2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

    1)測(cè)量與分析同界面操作,無(wú)須切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能;

    2)可視化窗口,便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程;

    3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程;

    4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

    5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;

    6)可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

    3、精密操縱手柄

    集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前工作。

    4、雙重防撞保護(hù)措施

    除出擊的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),*限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。


    中圖儀器共聚焦顯微鏡設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能;提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。4)其中粗糙度分析包括依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線(xiàn)粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線(xiàn)度、圓度形位公差評(píng)定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

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