- ·FDW45-2000/4P/800A
- ·舟山ABB熱過載繼電器TA25DU6...
- ·文山SR-3P80
- ·牌ZSBS-2型二線制轉(zhuǎn)變送
- ·新疆CDY6-404P385V
- ·四平**全新原裝金鐘穆勒MOELLE...
- ·HKAW1-3200/4-2500A...
- ·宿遷DHX01-FBS31AC30網(wǎng)...
- ·克拉瑪依WGLY-C40kA2P咨詢
- ·除濕裝置DL-880原理TCT-10...
- ·喀什**濾波器380V0.75KW輸...
- ·益陽(yáng)XJDY-NPE10銷售
- ·不銹鋼深水溫度計(jì)售后服務(wù)
- ·山南帶信號(hào)燈的立式扳道器鐵路用P50...
- ·磁性DS1-M-0202米
HORIBA掘場(chǎng)RU-1000等離子體發(fā)射控制器北崎國(guó)際
HORIBA掘場(chǎng)RU-1000等離子體發(fā)射控制器
HORIBA掘場(chǎng)RU-1000等離子體發(fā)射控制器
觸摸屏薄膜和玻璃基板通過反應(yīng)濺射沉積在基板上。 反應(yīng)濺射法是濺射粒子與氧氣和氮?dú)庠谡婵罩邪l(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成薄膜的方法,但反應(yīng)氣體供應(yīng)法的沉積速度慢,難以投入實(shí)際使用。 然而,眾所周知,存在一種沉積速率變化很大的過渡模式,盡管它在反應(yīng)模式和沉積速率快的金屬模式之間不穩(wěn)定,并且可以通過控制等離子體發(fā)射強(qiáng)度的反應(yīng)氣體來(lái)維持過渡區(qū)。
RU-1000 等離子體發(fā)射控制器使用傳感器來(lái)捕獲等離子體發(fā)射強(qiáng)度,并使用專有算法指示內(nèi)部高速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)氣體流速,從而提高接近金屬模式的沉積速率并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的成膜。
- RU-1000 等離子體發(fā)射控制器用于提高沉積速度。 與反應(yīng)氣體定量供應(yīng)方式相比,通過控制過渡區(qū)的反應(yīng)氣體,可以獲得數(shù)倍的沉積速度。
- 如果將多個(gè)等離子體發(fā)光強(qiáng)度傳感器連接到一個(gè)寬基板上,并且通過這些信號(hào)高速控制反應(yīng)氣體,則可以進(jìn)行極其均勻的薄膜沉積。
- 等離子體發(fā)射控制器 RU-1000 是由專門從事光學(xué)技術(shù)的 Horiba Manufacturing 和擁有*氣體控制技術(shù)的 Horiba S-Tech 商業(yè)化的國(guó)內(nèi)生產(chǎn)產(chǎn)品,具有*的售后服務(wù)。
制造商的特點(diǎn)
在等離子體發(fā)射控制器的生產(chǎn)中,HORIBA CORPORATION 負(fù)責(zé)測(cè)量等離子體發(fā)射強(qiáng)度的光學(xué)設(shè)計(jì)的基本設(shè)計(jì),HORIBA S-Tech Co., Ltd. 負(fù)責(zé)控制高速反應(yīng)氣體流速的功能部件的設(shè)計(jì)。 HORIBA 是汽車尾氣分析儀、薄膜測(cè)量和物理化學(xué)分析領(lǐng)域的*公司,由于這些分析技術(shù)的基本原理是光學(xué)測(cè)量技術(shù),因此等離子體發(fā)射測(cè)量由該領(lǐng)域的*公司進(jìn)行。 另一方面,反應(yīng)氣體流量控制單元由質(zhì)量流量控制器(氣體流量控制裝置)的制造商處理,該控制器*常用于世界各地的半導(dǎo)體制造設(shè)備。 RU-1000 等離子體發(fā)射控制器將通過匯集 HORIBA 集團(tuán)的*技術(shù)來(lái)迎接將技術(shù)發(fā)展到更高水平的挑戰(zhàn)。
對(duì)于希望演示的客戶
為了匹配您的系統(tǒng)并放心采用,我們?yōu)槟峁┛刂破骱偷入x子體測(cè)量單元等系統(tǒng)。
對(duì)于給您帶來(lái)的不便,我們深表歉意,但請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖標(biāo)并輸入所需信息。
我們的工作人員將確認(rèn)所需的日期和所需的系統(tǒng)。
