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HORIBA堀場IR-400在線氣體監(jiān)測儀北崎供應(yīng)
2025/02/12 11:48:49
HORIBA堀場IR-400在線氣體監(jiān)測儀北崎供應(yīng)
HORIBA堀場IR-400在線氣體監(jiān)測儀北崎供應(yīng)
在半導(dǎo)體制造的沉積過程中,隨著微細(xì)加工的進(jìn)步,為了提高生產(chǎn)率,在加工后始終保持腔室清潔非常重要。 IR-400 系列是用于薄膜沉積過程的腔室清潔終點(diǎn)檢測監(jiān)視器,可實(shí)時監(jiān)控廢氣成分(SiF4、CF4)。 它優(yōu)化了干洗終點(diǎn)檢測,減少了清潔氣體的使用和時間,并通過減少腔室損壞來延長部件的使用壽命。
業(yè)務(wù)領(lǐng)域: 半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別: 干法工藝控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
- 雙分量同時監(jiān)控
- 高靈敏度
- 氣室加熱功能
- 模擬/數(shù)字通信
- 多顯示器

儀器相關(guān):
山高SANKO(代理)、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機(jī)SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設(shè)備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān):
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)