光學(xué)尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005mm(0.5um)
測(cè)量精度:3um+L/200 重復(fù)精度:3um+L/200
Z軸高性能伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)
攝像機(jī):日本SONY CCD 視頻放大倍數(shù):30-230x
鏡頭:NAV高清變倍鏡頭/連續(xù)放大倍率0.7-4.5x
可配0.5物鏡,放大倍率:15-115x
可配2x物鏡,放大倍率:60-460x
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光學(xué)尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005mm(0.5um)
測(cè)量精度:3um+L/200 重復(fù)精度:3um+L/200
Z軸高性能伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)
攝像機(jī):日本SONY CCD 視頻放大倍數(shù):30-230x
鏡頭:NAV高清變倍鏡頭/連續(xù)放大倍率0.7-4.5x
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