OFS系列層流流量計能方便的用于各種氣體流量的測量，根據工廠空氣數據，再使用氣體兼容性換算系數就能換算出各種氣體的流量。這種流量計只適用于清潔、干燥、非腐蝕性和不能離子化的氣體，如有液體進入會損壞內部的傳感器。僅用于各種氣體: 空氣、氬氣、氦氣、氮氣、二氧化碳氣體、天然氣、蒸煮氣、氫氣、氧氣、混合氣體。

OFS系列的層流流量計能夠測量大部分氣體的質量流量，流量計內藏一個的節(jié)流元件，被稱為層流元件（LFE），通過測量這個層流元件上的壓力降來測量流量。節(jié)流元件是一些平行板路徑，氣體分子受力通過整個路徑，即流量計的全部工作通道。與其它節(jié)流元件產生的壓差和流量成平方關系不同，層流流量計上壓力降與流量是成線性關系。流路系列的質量流量計使用壓力傳感器和溫度傳感器對氣體的密度進行補償，與差壓變送器（容積流量變送器）輸出信號結合能計算得到氣體的質量流量。

技術規(guī)格

n  大壓力: 8.6BAR(100PSIG)

n  流量范圍: 0-500SCCM~0-1000SLPM

n  量程比: 100:1

n  所有的流量是以空氣為基準，對于其他氣體乘一個系數

n  本體/接口尺寸：基于滿量程量

n  材質: 陽極氧化鋁(標配)，316SS(可選，但交貨時間更長)

n  精度: 1-2%對于空氣，取決于量程。對于其他氣體，取決應用氣體種類

n  重復性: +/-0.25%滿量程

n  響應時間： 5~50mS(根據輸出類型)

n  線性化: 所有輸出已經與流量線性化

n  壓力降(BAR) : 0.14(通常)0.24(大)

n  工作溫度: -25~+80^oC

n  殼體: IP65(TYPE 4)

n  : CE & CSA

n  本安 (IS): 用于危險地點應用(僅有4-20mA輸出，CSA & CE )

n  氧清洗: 可選，特殊應用

n  顯示: 4位，流量、累積量、溫度或壓力

n  累積量:二組，三位數，替換為壓力顯示(或使用Mensah累積儀)

n  輸出: 4-20mADC(2-wire2線，回路供電)，RS232，0-5或0-10VDC，頻率或脈沖.

n  報警: 可選，二路PNP集電極開路

n  電池供電: 可選，9 VDC，沒有輸出