更小,更快,更薄

MicronX系統(tǒng)是專門為靈活應(yīng)用設(shè)計(jì)的強(qiáng)有力的測(cè)量工具。使用Thermo獨(dú)創(chuàng)的， 技術(shù)的硬件和軟件， MicronX系統(tǒng)能夠比其它EDXRF儀器測(cè)量更小的面積， 更薄的鍍層并且更快。 MicronX系統(tǒng)能夠接受多的金屬薄膜測(cè)量的挑戰(zhàn)。

X-射線能譜技術(shù)方面幾十年的經(jīng)驗(yàn)帶來了微束X-射線熒光的幾點(diǎn)創(chuàng)新：

激發(fā)光束的光學(xué)準(zhǔn)直器可以獲得一束特別明亮的的微束X-射線照在樣品表面

靈活和精密的樣品定位

新的X-射線檢測(cè)技術(shù)

綜合， 易用的操作界面和應(yīng)用軟件

X-射線束準(zhǔn)直

光學(xué)準(zhǔn)直

這一革命性的技術(shù)發(fā)出小至 20微米， 強(qiáng)度和精度為傳統(tǒng)儀器的1000倍。 強(qiáng)度的增加可以減少測(cè)量時(shí)間—比機(jī)械準(zhǔn)直快100倍并且精度提高10倍。 光學(xué)準(zhǔn)直對(duì)微束應(yīng)用是極為重要的， 因?yàn)楦呔群涂焖賹?duì)它是基本的。

精密樣品定位

伺服驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)

為了高精度的樣品定位，MicronX系統(tǒng)采用線性編碼伺服驅(qū)動(dòng)的X-Y-Z樣品臺(tái)。 定位精度可以達(dá)到+/-5或+/-2微米。

硅片樣品臺(tái)有適合于125 mm至300 mm大小硅片的許多插板選購(gòu)件， 樣品臺(tái)的行程能達(dá)到300 mm硅片的任何一點(diǎn)。

的真空環(huán)境

Thermo的真空導(dǎo)管技術(shù)包括X-射線束發(fā)生和檢測(cè)系統(tǒng)， 而樣品在空氣中。 這種獨(dú)有的設(shè)計(jì)創(chuàng)造了一種和樣品室全部抽真空可以比擬的分辨率和靈敏度， 而且樣品操作快速， 方便。

X-射線檢測(cè)

MicronX有一整套X-射線檢測(cè)技術(shù)，用戶可以根據(jù)自己的應(yīng)用選擇合適的檢測(cè)器。

除了正比計(jì)數(shù)管和PIN二極管檢測(cè)器以外， MicronX能配置我們獨(dú)有的電致冷Si(Li)檢測(cè)器或硅漂(SD)檢測(cè)器。 這些檢測(cè)器均有極好的分辨率和靈敏度， 適合于：

很薄的薄膜應(yīng)用

高精度要求

成份復(fù)雜， 有重疊峰的多元素或合金

Si(Li)檢測(cè)器

鋰漂移硅[Si(Li)] 檢測(cè)器為很薄的薄膜應(yīng)用提供高的分辨率和靈敏度。 數(shù)字式信號(hào)處理和Si(Li)檢測(cè)器技術(shù)保證了高的計(jì)數(shù)率通量。 無液氮的方便。

硅漂(SD)檢測(cè)器

硅漂檢測(cè)器技術(shù)和數(shù)字式脈處理電子學(xué)系統(tǒng)提供了高的計(jì)數(shù)率通量， 而高計(jì)數(shù)率通量可以縮短測(cè)量時(shí)間和提高精度達(dá)3倍。

MicronX 設(shè)計(jì)的有如下特點(diǎn)：

精密的光學(xué)系統(tǒng)

變焦， 激光輔助聚焦， 和計(jì)算機(jī)發(fā)生的十字線能對(duì)極小的部件和結(jié)構(gòu)精密定位。

應(yīng)用界面的設(shè)計(jì)者

用戶可用圖標(biāo)板創(chuàng)建的應(yīng)用界面。

報(bào)告樣板

創(chuàng)建用戶的報(bào)告格式或者摁一鍵選用一種的質(zhì)量報(bào)告。

XYZ樣品臺(tái)和2M/3M分布圖

可編程選項(xiàng)和部件固定的自動(dòng)成批測(cè)量。

圖案識(shí)別

自動(dòng)快速和。

統(tǒng)計(jì)工具

包括平均值， 標(biāo)準(zhǔn)偏差， 百分偏差，Pp/Ppk， Min/Max， 直方圖, 趨勢(shì)線，和R-圖。 可將數(shù)據(jù)傳入Excel和其它程序。

部件號(hào)編碼

可選用部件號(hào)或工號(hào)為應(yīng)用編碼。

操作界面

精密