高真空微調(diào)閥主要性能：

漏率：1.3×10-9Pa.M3/S；
通徑：1.0、1.5、3.0毫米三種規(guī)格；
耐正壓力：0.1MPa～0.6MPa;
耐溫、耐腐、耐壓；
表中可調(diào)量只要乘以測(cè)量時(shí)的壓力狀態(tài)的壓力就是可調(diào)量Pa.L/S。

真空微調(diào)閥主要零件材料：

體、 桿、閥座、針 304
軸密封件 “0”圈F26